簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置常見故障知識說明
品牌 | LNEYA/無錫冠亞 | 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 |
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價格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
儀器種類 | 一體式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
溫度范圍 | -45℃~225℃ | -60℃~225℃ | -80℃~225℃ | -100℃~225℃ | -120℃~225℃ | |
制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
-60℃ | 2kW | |||||
-80℃ | 1.5kW | |||||
-100℃ | 1.2kW | |||||
-120℃ | 1.2kW | |||||
溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度:5℃~32℃ 0~50%RH | |||||
空氣處理能力 | 7m³/h ~ 25m³/h 壓力5bar~7.6bar | |||||
系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓) 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
控制器 | 西門子PLC,模糊PID控制算法 | |||||
溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
可編程 | 可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟 | |||||
通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有) | |||||
溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
壓縮機(jī) | 法國泰康/艾默生 | |||||
蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥) | |||||
操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
安全防護(hù) | 具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
外型尺寸(風(fēng))cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
外型尺寸(水)cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
水冷冷凝器 | 板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔) | |||||
冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035) | |||||
溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ |
光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置常見故障知識說明
光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置常見故障知識說明
1、制冷壓縮機(jī)內(nèi)無敲擊聲,壓縮機(jī)正常運(yùn)轉(zhuǎn),膨脹閥開度調(diào)節(jié)合適,運(yùn)轉(zhuǎn)中只有壓縮機(jī)吸、排氣聲,不產(chǎn)生敲擊或其它不正常聲響。
2、壓縮機(jī)各摩擦部位溫度正常,無激熱現(xiàn)象。壓縮機(jī)各摩擦部位、軸承與軸頸接觸良好,潤滑正常,不產(chǎn)生超過環(huán)境溫度。
3、曲軸箱油面處在正常位置,一般壓縮機(jī)曲軸箱正常油面應(yīng)在視油鏡中間位置。如果是兩個油鏡,則正常油面應(yīng)在上油鏡的水平線上,但低不得低于下油鏡水平線或見不到油位。另外,在壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)過程中滑油不應(yīng)起泡。
4、油壓過低會造成各摩部件表面的干摩或卸載一能量調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)動作遲緩;油壓過高不但易損壞油泵軸、鍵及傳動件,而且會使各摩擦面之間進(jìn)油過多,增加摩擦阻力。。
5、壓縮機(jī)無結(jié)霜現(xiàn)象,制冷系統(tǒng)工作過程中,壓縮機(jī)回氣管路結(jié)霜應(yīng)屬正?,F(xiàn)象,但當(dāng)操作不良或膨脹閥調(diào)整不當(dāng)時,往往會造成壓縮機(jī)氣缸壁和機(jī)體結(jié)霜,嚴(yán)重時可能造成壓縮機(jī)“液擊”。
6、光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)各輔助設(shè)備處于正常工作狀態(tài),膨脹閥開度適當(dāng);各風(fēng)機(jī)及電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn);水循環(huán)系統(tǒng)的水泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常,無異常聲響;水循環(huán)管路及各連接處無嚴(yán)重漏水現(xiàn)象;更重要的是制冷系統(tǒng)所有設(shè)備連接管路不允許有制冷劑泄漏現(xiàn)象。
7、光刻機(jī)冷卻循環(huán)水裝置制冷系統(tǒng)所有壓力及溫度指示正確,壓力表、溫度表指針穩(wěn)定;高、低油壓控制器調(diào)整適當(dāng),在所要求之壓力數(shù)值范圍內(nèi)能起到自動控制和保護(hù)作用。
8、制冷系統(tǒng)正常工作時,其冷凝壓力與冷凝溫度,蒸發(fā)壓力與蒸發(fā)溫度呈對應(yīng)關(guān)系。