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簡要描述：元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機用低溫冷水機組故障原因與排除
產(chǎn)品型號：AES-4535廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2024-01-07訪 問 量：2417| 品牌 | LNEYA/無錫冠亞 | 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 儀器種類 | 一體式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機采用德國EBM軸流風(fēng)機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機用低溫冷水機組故障原因與排除
光刻機用低溫冷水機組故障原因與排除
光刻機用低溫冷水機組操作者可對設(shè)備運行過程中的相關(guān)故障以及解決辦法做一定的了解，以便更好的使用光刻機用低溫冷水機組，那么其故障原因是怎么樣的呢？
1、制冷劑泄漏：
系統(tǒng)中制冷劑泄漏后制冷量不足，吸、排氣壓力低，蒸發(fā)器不掛霜或掛角少量的浮霜，若調(diào)大膨脹閥孔，吸氣壓力仍無大變化，停機后系統(tǒng)內(nèi)平衡壓力一般低于相同環(huán)境溫度所對應(yīng)的飽和壓力。
排除方法：制冷劑泄漏后不能急于向系統(tǒng)內(nèi)充灌制冷劑，而應(yīng)立即查找滲漏點，經(jīng)修復(fù)后在填充制冷劑。
2、維修后充灌制冷劑過多：
維修后的制冷系統(tǒng)中充灌的制冷劑量超過系統(tǒng)的容量，制冷劑就會占去冷凝器一定的容積，減少散熱面積，使其制冷效果下降，出現(xiàn)吸、排氣壓力普遍高于正常的壓力值，蒸發(fā)器結(jié)霜不實，光刻機用低溫冷水機組降溫慢。
排除方法：按操作程序，須停機幾分鐘后在高壓截止閥處放出多余的制冷劑，此時也能將系統(tǒng)中的殘余空氣一并放出。
3、制冷系統(tǒng)內(nèi)有空氣：
空氣在制冷系統(tǒng)中會使制冷效率降低，突出的現(xiàn)象時吸、排氣壓力升高（但排氣壓力還未超出額定值），壓縮機出口至冷凝器處溫度明顯增高，由于系統(tǒng)內(nèi)有空氣，排氣壓力、排氣溫度都升高。
排除方法：可以在停機后幾分鐘后，連續(xù)幾次從高壓截止閥放出空氣，還可以根據(jù)實際情況適當(dāng)充灌一些制冷劑。
4、蒸發(fā)器表面結(jié)霜過厚：
長期使用的冷庫蒸發(fā)器要定時化霜，如不化霜，蒸發(fā)器管路上霜層越積越厚，當(dāng)把整個管路包住成透明冰層時，將嚴(yán)重影響傳熱，致使光刻機用低溫冷水機組溫度降不到要求的范圍內(nèi)。
排除方法：停機化霜，切勿用鐵器、木棒等敲擊霜層，以防損壞蒸發(fā)器管路。
5、蒸發(fā)器管路中有冷凍油：
在制冷循環(huán)過程中，有些冷凍油殘留在蒸發(fā)器管路內(nèi)，經(jīng)過較長時間的使用，蒸發(fā)器內(nèi)殘留油較多時，會嚴(yán)重影響其傳熱效果，出現(xiàn)制冷差的現(xiàn)象。
排除方法：清除蒸發(fā)器內(nèi)的冷凍油。將蒸發(fā)器拆下來，進行吹洗后再烘干。
光刻機用低溫冷水機組在發(fā)生液擊故障之后，操作者或者使用人如不能及時解決，請聯(lián)系廠家進行解決。
